情让张伟负责去搞定。”
……
接下来的日子,林川和他的团队开始全力推进隐形科技的验证。
黄崇卫把自己关在实验室里,那台从二手市场淘来的磁控溅射仪,外表锈迹斑斑,里面被拆得七零八落。
他照着图纸,把旧的靶台拆掉,自己用车床车了一个新的,装上气体管路。
第三天,抽真空,漏气。
他拆开所有接口,重新打胶,再抽,还漏。
第五天他找到了原因,腔体上有个肉眼几乎看不见的沙眼。
他用环氧树脂堵上,再抽,真空度终于达标。
到了一周后,开始首次沉积。
石墨靶在等离子体中溅射出碳原子,落在硅片基底上。
二十天后,s代工厂的工程师给郭韬打电话,说他设计的传感器阵列像素单元太小,光刻机的对准进度虽能做到,但良率不会太高。
郭韬让对方先做两片看看。
两片晶圆,每片上有两百颗芯片。
测试结果是一百九十三颗短路,七颗勉强能用,但噪声大得离谱。
他用探针台一个一个测,测到第三天,眼睛都快瞎了。
这天晚上11点,郭韬坐在测试间里看着屏幕上跳动的噪声波形一不发。
程思远过来递给他一罐提神饮料:“你这边咋样?”
郭韬没说话。
程思远看了看屏幕:“这个噪声是不是电源纹波太大?”
郭韬一愣,旋即拿起示波器测了一下电源。
果然,纹波有50毫伏。
“艹!”
他忍不住骂咧了一句。
没办法,第二天便开始重新设计电源滤波电路,把去耦电容从片内改到片外,用最笨的办法,在每个芯片旁边焊一个钽电容。
……
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